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氣體流量控制器:基于層流壓差原理的專業(yè)解析
2025-01-15 15:44:30 氣體流量控制器(Mass Flow Controller, MFC)是一種用于精確控制氣體流量的關(guān)鍵設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、化學(xué)工藝、生物醫(yī)藥以及環(huán)保等領(lǐng)域。其工作原理和性能表現(xiàn)直接決定了相關(guān)工藝的效率與質(zhì)量。浦卓測(cè)控作為國(guó)內(nèi)首家完全國(guó)產(chǎn)自研的MFC制造商,以其卓越技術(shù)和產(chǎn)品性能成為行業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)者。小編從專業(yè)視角詳細(xì)解析基于層流壓差原理的MFC核心技術(shù)、工作機(jī)制及易度智能MFC的產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)。 1. 層流的基本特性 層流是氣體在低雷諾數(shù)條件下的穩(wěn)定流動(dòng)狀態(tài),在層流狀態(tài)下,氣體的流量與壓差成正比。這一特性為層流壓差式氣體流量控制器的設(shè)計(jì)提供了理論基礎(chǔ)。 2. 壓差式測(cè)量的實(shí)現(xiàn) 層流壓差式MFC通過以下關(guān)鍵組件實(shí)現(xiàn)流量測(cè)量: 層流元件:精密的機(jī)械結(jié)構(gòu)確保氣體在通過時(shí)保持層流狀態(tài)。 壓差傳感器:自研高靈敏傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量層流元件兩端的壓差值。 計(jì)算方式:測(cè)量出壓差后就可以根據(jù)標(biāo)定數(shù)據(jù)獲得工況流量和質(zhì)量流量。 智能層流質(zhì)量流量計(jì)及控制器的核心優(yōu)勢(shì) 3. 完全國(guó)產(chǎn)自研 浦卓測(cè)控是國(guó)內(nèi)首家獲得層流壓差式CPA資質(zhì)批準(zhǔn)證書的企業(yè),并且是全球第二家有能力生產(chǎn)通用型層流質(zhì)量流量計(jì)的制造商。其產(chǎn)品填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)高端市場(chǎng)的技術(shù)空白,具備完全平替進(jìn)口高端設(shè)備的能力。 4. 高精度與高穩(wěn)定性 量程范圍廣:高精型產(chǎn)品覆蓋0.1sccm至5000slpm的量程需求,適應(yīng)多樣化的工況場(chǎng)景。 測(cè)控精度:高精型產(chǎn)品測(cè)量誤差控制在±0.5%讀數(shù)精度以內(nèi),重復(fù)性達(dá)到±0.1%,在行業(yè)中處于領(lǐng)先水平。 溫度壓力補(bǔ)償:內(nèi)置溫度傳感器和壓力傳感器,通過實(shí)時(shí)修正,保證不同環(huán)境條件下的精確測(cè)量。 5. 嚴(yán)苛的質(zhì)量保障 核心部件自主研發(fā):所有關(guān)鍵組件均為自主設(shè)計(jì)與制造,確保質(zhì)量可控,可根據(jù)需求靈活定制產(chǎn)品。 疲勞與耐久測(cè)試:每款產(chǎn)品需通過數(shù)千萬次疲勞測(cè)試,確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。 廣泛氣體兼容性:內(nèi)置70+種氣體及混合氣體數(shù)據(jù)庫(kù),用戶可根據(jù)工藝需求快速適配多種氣體,開機(jī)即測(cè),無需轉(zhuǎn)換系數(shù)。 基于層流壓差原理的氣體流量控制器以其高精度、快速響應(yīng)和可靠性在工業(yè)領(lǐng)域中占據(jù)重要地位。易度智能作為行業(yè)領(lǐng)軍者,以完全國(guó)產(chǎn)自研、全球領(lǐng)先的技術(shù)和高可靠性產(chǎn)品,為更多行業(yè)提供了可靠的解決方案。
本文關(guān)鍵字:氣體流量控制器,質(zhì)量流量計(jì)
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